EUVL
Reinraumprozessentwicklung
Ein Konkretes Projekt

Ziel war die Entwicklung eines Serienfertigungsprozesses für EUVL. Der Prozess bestand aus Montage im Reinraum, aus Kabelkonfektionierung, sowie der Prüfung der einzuklebenden Sensoren. Das Endprodukt für EUVL muss alle damit verbundenen Anforderungen insbesondere die Sauberkeitsanforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen. Während des Projektes wurde die komplette Prozessentwicklung für den Reinraum durchgeführt und an die Anforderungen im EUVL Bereich angepasst.

EUVL ist eine Halbleitertechnologie im Hochvakuum, die extrem hohe Sauberkeitsanforderungen stellt. Dies ist notwendig, da kleinste Verunreinigungen im Hochvakuum verherende Folgen für die Qualität der Bauteile haben können. Für die Herstellung des Bauteils sind Prozesse wie Kleben für Hochvakuum, Einpressen und Schweißen relevant.

Beim Kleben im Reinraum war es sehr wichtig, die richtigen Parameter sowie das passende Equipment wie z. B. spezielle Dosiernadeln auszuwählen. Beim Schweißen war die größte Herausforderung den hohen Sauberkeitsanforderungen für EUVL gerecht zu werden.
Das Bauteil kann nach dem Schweißen nicht mehr nasschemisch gereinigt werden. Hierfür wurde ein spezielles Tooling zur Kapselung beim Schweißen entwickelt. Die Überprüfung der Sauberkeit einer Schweißnaht kombiniert mit einem Heliumlecktest im Reinraum und einem 20 bar Drucktest stellten eine sehr große Herausforderung dar, Insbesondere der Dichtigkeitstest für die Hochvakuumanwendung erforderte spezielle Toolings.

Der Drucktest wir durchgeführt, um die Anforderungen an die Arbeitssicherheit zu erfüllt. Sollte dieser Drucktest nicht erfolgreich abgeschlossen werden können, würde das eine Gefahr für den Anwender beim Verwenden des Produktes darstellen. Die Bauteile dürfen nicht mit Händen (auch nicht mit Handschuhen) berührt werden, sondern dürfen nur mit speziell entwickelten Tools aus freigegebenen Materialien prozessiert werden. Die Komplexität des Prozesses und die speziellen Anforderungen führten dazu, dass viele Funktionen in den Tools gleichzeitig abgebildet werden mussten. Der Prozess wurde komplett entwickelt und Dokumentiert. Anschließend wurde der Prozess beim Kunden eingeführt und die Mitarbeiter anhand der Arbeitsanweisungen geschult.