Halbleitertechnik


Die Halbleiterindustrie - insbesondere die Entwicklung im Bereich EUVL (extrem ultra violet light) stellt besondere Anforderungen an Sauberkeit und UHV-Eignung. Die etg konzipiert Tests, baut Prüfstände und entwickelt Montageprozesse für den Reinraum.

Unsere Kompetenzen im Prüfstandsbau:

  • Entwicklung
  • Testing
  • Montage
  • Zerspanung
  • Reinraum

Ihr Sidekick

Mit jahrelanger Erfahrung bei der Entwicklung und Testing im Umfeld von EUVL/Reinraum bieten wir unseren Kunden schnelle und qualitative Lösungen.

Die etg bietet eigene Messtechnik, Chemielabor und die Herstellung hochkomplexer Dreh- und Frästeile in der firmeneigenen CNC Zerspanung sowie die Montage der Baugruppen im Reinraum. So hat sich etg ein umfassendes Know How erarbeitet, um alle Kundenanforderungen erfolgreich umzusetzen. Um auch weiter steigende Zukunftsanforderungen umsetzen zu können, wurde 2019 der Reinraum modernisiert (Reinraum Klasse ISO 7).

Bereits bei der Vorbereitung eines Projektes unterstützt Sie die etg bei der Spezifikation und übernimmt auf Wunsch die Erstellung des Lastenhefts. Da fast alle Arbeiten zur Erfüllung der Aufträge im Haus durchgeführt werden können ist die etg in der Lage, Topqualität in Bestzeit zu liefern. Sie erhalten ein individuell zugeschnittenes Sorglos-Paket.

Jeder Held braucht seinen Sidekick. Wie Robin der Sidekick von Batman ist, sind wir Ihr Sidekick.

Nasschemische Reinigung

In unserer nasschemischen Reinigung reinigen wir Teile für EUVL- und Hochvakuum Anwendungen

chem

Messtechnik

  • Koordinatenmessmaschine
  • Messmikroskop
  • Diverses Messequipment für Kraft, Druck, Weg und elektrische Größen
  • Helium-Lecktester für Dichtigkeitsprüfungen
  • Öfen bis 1150°
labor

Die Fertigung

Unsere Fertigung ist auf die hohen Anforderungen und spezifischen Normen der Halbleiter- und Medizintechnik eingestellt. Dadurch wird gewährleistet, dass beim Herstellen komplexer CNC Dreh- und Frästeile, der Montage ganzer Baugruppen sowie dem Reinigen und Verpacken keine Zeit und vor allem keine Qualität verloren geht.

Testlabor

Durch unser umfangreiches Testequipment kann individuell auf Ihre Bedürfnisse eingegangen und lösungsorientierte Tests durchgeführt werden.

  • Tests in verschiedenen Temperaturbereichen
  • Tests im Vakuum oder Hochvakuum
  • Dauerbelastungstests
  • Untersuchungen von Partikelemission
  • Tests im Reinraum
  • Tests rund um Füllstrategien
    von Kühlsystemen
labor

Reinraum

Der Reinraum ISO-7 ist mit ESD Arbeitsplätzen ausgestattet. Arbeiten im Reinraum, die die etg übernehmen kann:

  • Montage (ESD)
  • Messungen mit Koordinatenmessmaschine
  • Partikelinspektion
  • Endreinigung
  • Verpackung

Unser Chemielabor

In unserem Chemielabor optimieren wir Oberflächen- und Reinigungsprozesse, wie etwa dem Elektropolieren, Anodisieren, Beizen oder Ätzen. etg entwickelt neue Prozesse, um den Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden.

bubble bubble

Blasenlose Kühlkreisbefüllung

Bei der Befüllung von Kühlkreisläufen z. B. in komplexen Anlagen im EUVL-Umfeld, wird auf kurze Befüllzeiten wert gelegt, da der Stillstand der Maschinen hohe Produktionsausfallkosten verursacht. Bei der Befüllung ist insbesondere die Zeit relevant, bis das System blasenfrei ist.

Um verschiedene Strategien der Befüllung auswerten zu können, werden Teile des Kühlkreislaufs aus durchsichtigen Materialien aufgebaut. Mittels hochauflösender Videozeitrafferaufzeichnung und eigens dafür entwickelter Bildauswertungssoftware können wir die Menge Luftblasen über der Zeit in einem Diagramm darstellen. Unterstützend werden mit Sensoren der Druck an verschiedenen Stellen, der Durchfluss und die Temperatur mit erfasst.

Je nach Leitungsführung und verwendeten Wärmetauschern ist bei einer Standardbefüllung keine blasenfreie Befüllung möglich. Es dauert unter Umständen Wochen, bis sich die Restluft in der Kühlflüssigkeit gelöst hat. Durch Optimierung des Pumpenstands / Befüllstrategie ist es möglich, die Blasenmenge um mehr als 90% im Vergleich zu einer Standardbefüllung zu reduzieren.